硅烷法
要聊硅烷法,就不得不聊到挪威的REC公司(RenewableEnergyCorporation)。REC是全球最重要的高純硅烷供應(yīng)商,一度占據(jù)全球電子級(jí)硅烷市場(chǎng)80%的份額,對(duì)采用硅烷法生產(chǎn)多晶硅有很強(qiáng)的動(dòng)力。
和保利協(xié)鑫專注于多晶硅生產(chǎn)、產(chǎn)業(yè)鏈條相對(duì)單一不同,傳統(tǒng)多晶硅大廠多為電子材料綜合供應(yīng)商,如德國(guó)Wacker的產(chǎn)品涉及多晶硅、有機(jī)硅、聚醋酸乙烯、白炭黑等,而挪威REC、美國(guó)MEMC($休斯電子材料(WFR)$)則是全球電子級(jí)硅烷的重要供應(yīng)商。
硅烷法制造多晶硅也是一種化學(xué)方法,核心工藝是利用高純度硅烷在反應(yīng)器中熱分解為高純度硅。硅烷法可以分為兩類,較早出現(xiàn)的是硅烷西門子法(SilaneSiemens),即用硅烷(SiH4)而非TCS作為CVD還原爐的原料,通過硅烷(包括副產(chǎn)品SiH2Cl2,下文簡(jiǎn)稱DCS)的熱分解和氣相沉積來生產(chǎn)高純度多晶硅棒料,REC旗下的RECSilicon公司(位于美國(guó),包括原Asimi和SGS)采用過此方法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅;不過,REC近期的多晶硅擴(kuò)建項(xiàng)目采用了另一種硅烷法——硅烷流化床法(SilaneFBR),將硅烷(UCC法制成的硅烷可以包含副產(chǎn)品DCS)通入加有小顆粒硅粉的流化床(FBR)反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行連續(xù)熱分解反應(yīng),生成粒狀多晶硅。
英利綠色能源的多晶硅項(xiàng)目就是計(jì)劃采用這種生產(chǎn)方法。
冶金法
有別于改良西門子法和硅烷法的化學(xué)方法,冶金法是利用物理方法生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅,其典型工藝是將純度好的冶金硅進(jìn)行水平區(qū)熔單向凝固成硅錠,去除硅錠的外表部分和金屬雜質(zhì)聚集的部分后,將硅錠粗粉碎并清洗,并在等離子體熔解爐中去除硼雜質(zhì),然后二次區(qū)熔單向凝固成硅錠,再次除去外表部分和金屬雜質(zhì)聚集的部分然后粗粉碎和清洗,最后在電子束熔解爐中除去磷和碳雜質(zhì)直接生成太陽能級(jí)多晶硅。

當(dāng)然,以上三相只是比較主流的多晶硅制備方法。流化床法等也在小量被應(yīng)用。