產(chǎn)品描述:
MCS-HY800多晶鑄錠爐是一種方形雙層水冷式結(jié)構(gòu)的鑄錠爐,是在惰性氣體保護的環(huán)境里,以石墨電阻上下加熱的方式將硅原料熔化,采用熱交換法使硅液緩慢冷卻,定向結(jié)晶,可生產(chǎn)高品質(zhì)太陽能級硅晶片,每爐投料量約700kg-800kg,年產(chǎn)能9-10MW。
技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg 技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg 技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg 技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg 技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg 技術(shù)規(guī)范名稱 可達到參數(shù) 1)爐子外形尺寸 5.86米×4.4米×3.7米 2)坩堝尺寸 1040×1040×480mm 3)容量 800Kg 4)鑄錠尺寸 1000×1000×300mm 5)最高爐溫 1600℃ 6)前級泵抽氣能力 大約70m³/h 7)羅茨泵抽氣能力 大約500m³/h 8)最大真空度設(shè)置 ≤8×10-2mbar 9)升壓測試時的排氣速度 8×10-2mbar/s 10)設(shè)備操作壓力 1-900mbar 11)供電電壓 3-400V AC±10% 50Hz 12)要求容量 220KVA 13)上部加熱器 110KW 14)底部加熱器 80KW 15)絕緣電阻 ≥2(kΩ) 16)供應(yīng)氣體壓力 5bar 17)壓升率 0.067 mbar/h 18)一循環(huán)需氬氣量 70Nm³ 19)氬氣流量 35NI/min 20)氣體純度 99.999% 21)冷卻水流量 300L/min 22)水路進口壓力最小/最大 2/4bar 23)平均溫升 大約5℃ 24)機械顆粒純度 0.7mm 25)化學(xué)pH值 7.0-8.5pH 26)碳酸鹽硬度最大值 8°DH 27)硅錠生長速率(cm/h.) 1.1-1.5 28)生長周期 55-60h 29)表面溫升(k) ≤35 k 30)爐溫均勻度(℃) ±2 31)爐溫穩(wěn)定度(℃) ±0.5 32)單位能耗 5.3kW·h/Kg