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高效多晶鑄錠爐

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所在地: 北京
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最后更新: 2014-04-15 14:03
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詢價
公司基本資料信息






 
 
產(chǎn)品詳細說明

  • 原產(chǎn)地:
  • 品牌:
  • 型號:
  • 尺寸:
  • 材料:
  • 參考重量:
  • 產(chǎn)品認證:
  • MaxPower:

產(chǎn)品描述:

1、材質(zhì)選用優(yōu)質(zhì)進口低碳不銹鋼,保證了真空系統(tǒng)的高壽命,使用中不會出現(xiàn)因材質(zhì)問題引起的滲漏。底座等支撐部件,設計合理具有良好的機械強度及減震效果,設備長久使用不變形,不丟失精度。

2、 整個晶體生長過程為全自動控制,由一個可編程自動化控制器(PLC)控制晶體生長的全過程。

3、采用單CCD直徑控制系統(tǒng),配有專用圖像處理及顯示計算機,實現(xiàn)在整個晶體生長過程中的直徑檢測及自動控制。熱區(qū)溫度通過加熱電源維持,由PLC進行閉環(huán)控制與調(diào)節(jié);可以高精度地控制爐室溫度。

4、          生產(chǎn)過程,模殼不移動。

5、          上、下加熱器以及底部安裝熱門和冷卻板的設計可以高效控制結(jié)晶過程,側(cè)面不需要加熱。

6、          光電硅錠的工藝步驟----啟動、熔料、結(jié)晶、退火、冷卻等工藝過程都是在真空或壓力條件下由PLC自動控制。

7、          PLC控制系統(tǒng)被證實使用于工業(yè)化批量生產(chǎn)的所有MCS爐型,該軟件可應用于中央控制系統(tǒng)。

8、          帶有預抽真空干泵的真空泵系統(tǒng)減少了維修和保養(yǎng)工作。

9、          萬一坩堝泄漏,爐腔卸壓,超溫保護、水檢測及底部覆蓋瓷磚等安全措施都會保護爐子的操作人員。

10、     爐子加熱器設計成一個完整的模殼,它可以從爐子里取出運到別的地方保養(yǎng)和維修,這可以實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。

10、用于帶有數(shù)據(jù)和報警過程控制的可視化軟件,存儲在計算機的硬盤中??梢燥@示過程變量隨時間的趨勢圖。

11、安全的設備運行控制,包括:

- 冷卻水溫度監(jiān)控,在超溫時報警。

- 全自動的溫度監(jiān)控系統(tǒng),提供故障下的加熱器功率關(guān)閉控制。

- 機械運動行程保護。

- 手動應急故障處理裝置。

產(chǎn)品特性:

投料量:800Kg

技術(shù)參數(shù):

型號

MCS-HY800

加熱方式

坩堝上下加熱

額定容量(kg)

800

生產(chǎn)周期(h)

62-66

最高工作溫度(℃)

1600

硅錠生長速率(cm/h.)

1.1-1.5

極限真空度(mbar)

<8                   55:×10-2

壓升率( mbar/h)

0.067

氬氣耗氣量(m3/爐)

70-80

冷卻水流量(L/min)

300

空爐抽氣時間(min)

≤60

額定加熱功率(kW)

190

坩堝尺寸(mm)

1040*1040*480

硅錠尺寸(mm)

1000*1000*300

絕緣電阻(kΩ)

≥2

表面溫升(k)

≤35

爐溫均勻度(℃)

±2

爐溫穩(wěn)定度(℃)

±0.5

連鎖和報警裝置

符合要求

質(zhì)保說明:

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