產(chǎn)品描述:
1、材質(zhì)選用優(yōu)質(zhì)進口低碳不銹鋼,保證了真空系統(tǒng)的高壽命,使用中不會出現(xiàn)因材質(zhì)問題引起的滲漏。底座等支撐部件,設計合理具有良好的機械強度及減震效果,設備長久使用不變形,不丟失精度。
2、 整個晶體生長過程為全自動控制,由一個可編程自動化控制器(PLC)控制晶體生長的全過程。
3、采用單CCD直徑控制系統(tǒng),配有專用圖像處理及顯示計算機,實現(xiàn)在整個晶體生長過程中的直徑檢測及自動控制。熱區(qū)溫度通過加熱電源維持,由PLC進行閉環(huán)控制與調(diào)節(jié);可以高精度地控制爐室溫度。
4、 生產(chǎn)過程,模殼不移動。
5、 上、下加熱器以及底部安裝熱門和冷卻板的設計可以高效控制結(jié)晶過程,側(cè)面不需要加熱。
6、 光電硅錠的工藝步驟----啟動、熔料、結(jié)晶、退火、冷卻等工藝過程都是在真空或壓力條件下由PLC自動控制。
7、 PLC控制系統(tǒng)被證實使用于工業(yè)化批量生產(chǎn)的所有MCS爐型,該軟件可應用于中央控制系統(tǒng)。
8、 帶有預抽真空干泵的真空泵系統(tǒng)減少了維修和保養(yǎng)工作。
9、 萬一坩堝泄漏,爐腔卸壓,超溫保護、水檢測及底部覆蓋瓷磚等安全措施都會保護爐子的操作人員。
10、 爐子加熱器設計成一個完整的模殼,它可以從爐子里取出運到別的地方保養(yǎng)和維修,這可以實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。
10、用于帶有數(shù)據(jù)和報警過程控制的可視化軟件,存儲在計算機的硬盤中??梢燥@示過程變量隨時間的趨勢圖。
11、安全的設備運行控制,包括:
- 冷卻水溫度監(jiān)控,在超溫時報警。
- 全自動的溫度監(jiān)控系統(tǒng),提供故障下的加熱器功率關(guān)閉控制。
- 機械運動行程保護。
- 手動應急故障處理裝置。產(chǎn)品特性:
投料量:800Kg
技術(shù)參數(shù):
型號 |
MCS-HY800 |
加熱方式 |
坩堝上下加熱 |
額定容量(kg) |
800 |
生產(chǎn)周期(h) |
62-66 |
最高工作溫度(℃) |
1600 |
硅錠生長速率(cm/h.) |
1.1-1.5 |
極限真空度(mbar) |
<8 55:×10-2 |
壓升率( mbar/h) |
0.067 |
氬氣耗氣量(m3/爐) |
70-80 |
冷卻水流量(L/min) |
300 |
空爐抽氣時間(min) |
≤60 |
額定加熱功率(kW) |
190 |
坩堝尺寸(mm) |
1040*1040*480 |
硅錠尺寸(mm) |
1000*1000*300 |
絕緣電阻(kΩ) |
≥2 |
表面溫升(k) |
≤35 |
爐溫均勻度(℃) |
±2 |
爐溫穩(wěn)定度(℃) |
±0.5 |
連鎖和報警裝置 |
符合要求 |
質(zhì)保說明: